11月初，成都双流的本土光刻机即将从空港聚光光电产业园发往全国各地，订单金额已超过1亿元，众多客户在排队等待交付。这些设备由成立于今年2月的中特微公司生产，车间技术人员正在加班加点进行装配，主要服务于光芯片、LED和显示半导体等行业。尽管许多人对光刻机的第一印象是高端EUV设备，这家企业选择了相对竞争较少的接近式光刻机领域，打破了德国、日本和奥地利等海外公司长期以来的市场垄断。此前，国内的许多设备仅能在实验室中演示，而在量产时问题频现，海外大厂也不愿为国内企业进行定制化。
这家企业的团队来自中科院，成立不到五年，掌握了UV-LED平行光源、显微对位和精密运动控制等三项关键技术，2023年实现4/6英寸设备的批量生产。目前，他们在光显示细分市场中占据约80%的份额，设备供应给国内多家领先企业，是少数能够批量交付光刻机给LED行业的本土厂商，同时也进入了8英寸MEMS和光通信产线。公司计划在明年将产能提升至300台，并研发面板封装激光直写光刻机，这一新项目若成功，将覆盖从晶圆到面板级的光刻需求。
企业选择落户双流，是因为看重当地的完整上下游配套、本地人才以及相关政策支持。空港科创集团通过产业基金进行股权投资，进一步增强本地半导体装备产业链的实力。目前，空港聚光光电产业园已经吸引了18家光电相关企业，其中包括多家“专精特新”和高新技术企业。双流的光电产业总产值已突破660亿元，这表明在半导体装备领域，不必只专注于最困难的主流产品，找到细分市场并稳扎稳打，就能够为国产设备创造出一席之地。坚持深耕细分市场，有望为国产装备开拓新的发展机会，期待更多国产设备走进国内的生产车间。
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